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等離子去膠機(jī)區(qū)別于傳統(tǒng)濕法去膠工藝、兼具綠色環(huán)保的優(yōu)點(diǎn)

等離子去膠機(jī)是半導(dǎo)體、微電子、光電子、微納加工等領(lǐng)域的核心精密等離子體處理設(shè)備,核心以氧氣為主要工作氣體,在真空環(huán)境中產(chǎn)生高活性的氧等離子體,實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓、基片、器件表面光刻膠的干法無損傷剝離,是光刻工藝后不可少的配套處理設(shè)備。該設(shè)備區(qū)別于傳統(tǒng)濕法去膠工藝,全程無化學(xué)試劑參與,無濕法腐蝕、無試劑殘留,適配微納結(jié)構(gòu)器件的高精度加工要求,同時(shí)兼具綠色環(huán)保、去膠的特點(diǎn),是微納制造工藝中實(shí)現(xiàn)光刻膠準(zhǔn)確去除的關(guān)鍵設(shè)備。等離子去膠機(jī)的核心工作邏輯圍繞“真空環(huán)境構(gòu)建-氧等離子體生成-光刻膠氧...

  • 2023

    7-17

    等離子刻蝕機(jī)(PlasmaEtchingMachine)是一種常用的半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備,它在微納米尺度上對(duì)材料進(jìn)行準(zhǔn)確的剝離和加工。利用高能復(fù)合氣體中的等離子體來加工材料。等離子體是由加熱、電離或解離氣體產(chǎn)生的帶電粒子和復(fù)合分子組成的高能態(tài)氣體。通過施加高頻電場(chǎng),將氣體中的電子與正離子分離,并加速這些帶電粒子形成等離子體。等離子體具有較高的能量和活性,在與材料表面相互作用時(shí)可以實(shí)現(xiàn)物理、化學(xué)或化學(xué)物理反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的刻蝕。等離子刻蝕機(jī)工作過程:氣體供給:將特定混合比例的...

  • 2023

    7-6

    等離子處理機(jī)利用等離子體反應(yīng)進(jìn)行表面處理的設(shè)備。它基于等離子體的物理和化學(xué)特性來進(jìn)行金屬表面清潔、改性以及涂層制備等工藝。等離子體是由高能電子和正離子組成的高度電離和活躍的氣體態(tài)。在等離子體處理中,通過施加高頻電場(chǎng)或射頻放電,將氣體轉(zhuǎn)變?yōu)閹щ姷牡入x子體狀態(tài)。Pluto等離子處理機(jī)對(duì)PTFE材料的活性處理:聚四氟乙烯PTFE是非極性的線性結(jié)晶聚合物,它有許多優(yōu)異的性能而被稱為“塑料王”,但其表面自由能很低而幾乎無法與其他材料粘附是其缺點(diǎn)之一。為了擴(kuò)大應(yīng)用范圍,對(duì)PTFE材料表面...

  • 2023

    6-26

    真空等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗和改性的設(shè)備。其主要原理是在真空環(huán)境下,通過電離氣體產(chǎn)生等離子體,利用等離子體在表面產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng),去除表面污染物和氧化層,從而改善表面性能。真空等離子清洗機(jī)的工作原理如下:1.將待清洗的物體放入真空室內(nèi),排除空氣,建立真空環(huán)境。真空環(huán)境可以有效地避免氧化和污染物的再污染。2.在真空室內(nèi)加入氣體,如氧氣、氮?dú)獾?,然后通過高頻電場(chǎng)、微波等方式將氣體離子化,產(chǎn)生等離子體。3.等離子體在表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng),去除表面...

  • 2023

    6-19

    國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗的設(shè)備,主要用于去除各種材料表面的有機(jī)物、無機(jī)鹽和氧化物等污染物。其特點(diǎn)是對(duì)于不同種類和形態(tài)的污染物都具有良好的清洗效果,同時(shí)操作簡(jiǎn)便且環(huán)保。該設(shè)備主要由高頻電源、等離子發(fā)生器、反應(yīng)室和進(jìn)出料口組成。工作時(shí),將被清洗物放置在反應(yīng)室內(nèi),通入清洗介質(zhì)(如氫氣、氮?dú)饣蚩諝?并加入適量的惰性氣體(如氬氣)進(jìn)行稀釋,然后通過高頻電源向等離子發(fā)生器供電,使得清洗介質(zhì)在反應(yīng)室內(nèi)產(chǎn)生等離子體,從而清除被清洗物表面的污染物。整個(gè)清洗過程可以控制...

  • 2023

    6-12

    等離子處理機(jī)也稱為等離子表面活性劑處理系統(tǒng)(PASA),是一種利用等離子體技術(shù)對(duì)材料表面進(jìn)行清潔、改性、涂覆等處理的裝置。其原理基于高溫高壓的氣態(tài)等離子體生成與傳輸。當(dāng)引入輝光放電時(shí),氣體被電離成等離子體,通過管道將等離子體傳輸至需要處理的物體表面。等離子體在物體表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)后,會(huì)使表面形貌和性質(zhì)發(fā)生改變,從而達(dá)到期望的處理效果。產(chǎn)生等離子體:在等離子處理機(jī)內(nèi),控制進(jìn)入等離子處理機(jī)的氣體種類和流量,通過高頻電場(chǎng)或者微波電場(chǎng)等方式將氣體電離成等離子體。等離子體傳輸:控制等離...

  • 2023

    5-30

    一、引言等離子處理機(jī)作為一種先進(jìn)的材料表面改性技術(shù),近年來在許多領(lǐng)域都得到了廣泛應(yīng)用。等離子表面處理機(jī)通過等離子射流對(duì)材料表面進(jìn)行改性處理,以改善材料的表面性能,如耐磨性、耐腐蝕性、附著力和生物相容性等。二、等離子處理機(jī)的定義與工作原理等離子處理機(jī)是一種利用等離子射流對(duì)材料表面進(jìn)行改性的設(shè)備。它主要由真空室、電源和控制系統(tǒng)組成。在等離子處理機(jī)中,氣體在高溫高壓下電離成等離子態(tài),然后通過等離子射流的形式對(duì)材料表面進(jìn)行轟擊,使材料表面發(fā)生物理和化學(xué)變化,從而達(dá)到改性的目的。等離子...

  • 2023

    5-22

    臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)是一種高效、環(huán)保、安全的表面處理設(shè)備,適用于各類材料的表面清洗和改性處理。以下是該設(shè)備的詳細(xì)介紹:一、工作原理臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)利用高頻電場(chǎng)引導(dǎo)氣體放電,產(chǎn)生等離子體,將氧分子轉(zhuǎn)化為活性氧物種,與被清洗材料表面發(fā)生反應(yīng),去除表面有機(jī)物和污染物,并在表面形成致密的無機(jī)氧化膜,提高表面性能。二、設(shè)備組成1.真空室:設(shè)備主體,具有較高的真空度和良好的密封性能。2.高頻電源:產(chǎn)生高頻電場(chǎng)激勵(lì)等離子體,控制氣體放電和功率輸出。3.氣體供應(yīng)系統(tǒng):提供清洗所需氣體,如...

  • 2023

    5-16

    小型等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗的設(shè)備。其主要原理是通過高頻電場(chǎng)激發(fā)氣體形成等離子體,將放電所產(chǎn)生的等離子體束聚焦于目標(biāo)物表面,使得目標(biāo)物表面上的污垢分子、有機(jī)化合物和細(xì)菌等被分解或氧化而去除。小型等離子清洗機(jī)通常由以下組成部分構(gòu)成:高頻功率源、等離子體反應(yīng)室、進(jìn)樣口和出樣口。高頻功率源提供功率以激活氣體形成等離子體;等離子體反應(yīng)室是等離子體形成與清洗的主要區(qū)域,它具有優(yōu)良的密封性能;進(jìn)樣口和出樣口則分別用來將清洗物料輸入和輸出。它的應(yīng)用范圍廣泛,可以用于半...

  • 2023

    5-11

    實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)利用等離子體技術(shù)去除表面的污染物和異物,其原理是在一個(gè)真空室中產(chǎn)生等離子體。在這個(gè)過程中,氣體中的電子被加速并與氣體分子碰撞,從而形成了一個(gè)大量帶正荷的離子化氣體場(chǎng),即所謂的等離子體。等離子體的能量可以切斷有機(jī)物分子中的鍵合,使它們分解成揮發(fā)性有機(jī)化合物,并形成水和二氧化碳等不易造成二次污染的分子。廣泛應(yīng)用于電子、航天、航空、汽車及其零部件、醫(yī)療器械、化工等行業(yè)。相比傳統(tǒng)的化學(xué)清洗方法,實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)具有去除污染物不會(huì)產(chǎn)生二次污染、環(huán)保節(jié)能、處理速度快等...

  • 2023

    4-27

    近年來,隨著科技的不斷發(fā)展,等離子清洗機(jī)作為一種高效、環(huán)保的清洗設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)在性能和可靠性上已經(jīng)達(dá)到了與國(guó)外同類產(chǎn)品相當(dāng)甚至更優(yōu)的水平,成為了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的主流。等離子清洗機(jī)是利用高能離子產(chǎn)生放電效應(yīng),在氧氣等氣體中形成等離子體,使空氣中的污染物質(zhì)離子化并氧化分解,從而達(dá)到清洗表面污染物的目的。其中,等離子體具有高能和高反應(yīng)性,能夠有效地清除污染物質(zhì),同時(shí)不會(huì)對(duì)被清洗材料造成損傷。等離子清洗機(jī)是利用高能離子產(chǎn)生放電效應(yīng),在氧氣等氣體中形成等離子體,使...

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