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等離子去膠機(jī)區(qū)別于傳統(tǒng)濕法去膠工藝、兼具綠色環(huán)保的優(yōu)點

等離子去膠機(jī)是半導(dǎo)體、微電子、光電子、微納加工等領(lǐng)域的核心精密等離子體處理設(shè)備,核心以氧氣為主要工作氣體,在真空環(huán)境中產(chǎn)生高活性的氧等離子體,實現(xiàn)對晶圓、基片、器件表面光刻膠的干法無損傷剝離,是光刻工藝后不可少的配套處理設(shè)備。該設(shè)備區(qū)別于傳統(tǒng)濕法去膠工藝,全程無化學(xué)試劑參與,無濕法腐蝕、無試劑殘留,適配微納結(jié)構(gòu)器件的高精度加工要求,同時兼具綠色環(huán)保、去膠的特點,是微納制造工藝中實現(xiàn)光刻膠準(zhǔn)確去除的關(guān)鍵設(shè)備。等離子去膠機(jī)的核心工作邏輯圍繞“真空環(huán)境構(gòu)建-氧等離子體生成-光刻膠氧...

  • 2024

    3-19

    臺式真空等離子清洗機(jī)的應(yīng)用范圍非常廣泛,如半導(dǎo)體芯片、LED芯片、MEMS元件、薄膜太陽能電池等微型器件。在這些器件的制造過程中,往往需要對表面進(jìn)行清潔、去除雜質(zhì)等處理,以保證器件性能和可靠性。等離子清洗機(jī)適用于對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、高分子材料等物體表面進(jìn)行360度清潔和表面改性處理,提高濕潤性提升工件粘接、涂層、印刷、去膠的可靠性。臺式真空等離子清洗機(jī)構(gòu)成:1、真空系統(tǒng):主要用于腔體內(nèi)部抽真空以及破空處理;2、等離子發(fā)生系統(tǒng):用于放電產(chǎn)生...

  • 2024

    1-9

    隨著科技的不斷發(fā)展,各種新型的清洗技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。其中,小型等離子清洗機(jī)作為一種高效、環(huán)保的清洗設(shè)備,已經(jīng)在眾多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。一、小型等離子清洗機(jī)的工作原理等離子清洗機(jī)是利用等離子體對材料表面進(jìn)行清洗的一種設(shè)備。等離子體是一種由高能量電子、正負(fù)離子和中性粒子組成的氣體,具有高溫、高能量的特點。在等離子清洗過程中,清洗劑在等離子體的作用下,產(chǎn)生大量的活性物質(zhì),這些活性物質(zhì)能夠迅速滲透到材料表面的微小孔隙中,將污垢清除。小型等離子清洗機(jī)的工作原理主要包括以下幾個步驟:1.激...

  • 2024

    1-5

    等離子刻蝕機(jī)利用氣體放電生成的等離子體對材料表面進(jìn)行刻蝕。在高頻電場作用下,氣體分子離子化并形成等離子體,在等離子體中產(chǎn)生的活性粒子(如離子、自由基等)與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),將材料表面的原子或分子去除,從而實現(xiàn)對材料的刻蝕,可分為干法刻蝕機(jī)和濕法刻蝕機(jī)兩種類型。干法刻蝕機(jī)主要利用等離子體刻蝕,而濕法刻蝕機(jī)則利用液體溶液對材料表面進(jìn)行刻蝕。等離子刻蝕機(jī)包含主體腔體、真空系統(tǒng)、氣體輸送系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、高頻電源、控制系統(tǒng)等組成。主體腔體為反應(yīng)腔體,用于放置待刻蝕物。真空系統(tǒng)通過抽...

  • 2023

    12-12

    等離子處理機(jī),這個看似神秘但實則應(yīng)用廣泛的設(shè)備,正日益受到工業(yè)界的關(guān)注。它以高效、環(huán)保、節(jié)能的特點,逐漸成為工業(yè)制造過程中的重要一環(huán)。本文將詳細(xì)介紹等離子處理機(jī)的原理、應(yīng)用及優(yōu)勢,幫助大家更好地了解這一重要的工業(yè)設(shè)備。一、等離子處理機(jī)的原理它是一種利用等離子體對材料進(jìn)行表面處理的設(shè)備。其核心部分包括電源、反應(yīng)室、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)以及控制系統(tǒng)。工作原理是將氣體在強(qiáng)電場的作用下電離,形成由電子、自由基和離子組成的等離子體。這些活性粒子與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成新的物質(zhì)層,改變...

  • 2023

    12-9

    下面由等離子表面處理機(jī)廠家介紹等離子表面處理機(jī)是一種什么樣的設(shè)備:隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對于材料表面性能要求越來越高,而表面處理與改性技術(shù)也得到了廣泛的應(yīng)用。在眾多的表面處理技術(shù)中,等離子表面處理技術(shù)以其高效、靈活、環(huán)保等特點受到了越來越多的關(guān)注。本文將從等離子表面處理機(jī)的工作原理、應(yīng)用領(lǐng)域及優(yōu)勢等方面詳細(xì)介紹等離子表面處理機(jī)。一、等離子表面處理機(jī)的工作原理等離子表面處理技術(shù)是指利用等離子體對材料表面進(jìn)行改性的一種表面處理技術(shù)。所謂等離子體,即由電離氣體中的正負(fù)離子和自由電子組...

  • 2023

    12-4

    等離子去膠機(jī)(Plasmaetcher)是一種用于去除材料表面膠層的設(shè)備。它利用等離子體技術(shù),通過將氣體電離和激發(fā),產(chǎn)生高能離子和自由基,以去除材料表面的膠層。通過等離子體與材料表面的化學(xué)反應(yīng)來去除膠層。在等離子體的作用下,膠層中的聚合物鏈斷裂,使膠層松散,并與氣體中的自由基反應(yīng),從而將膠層分解為易揮發(fā)的小分子,通過真空系統(tǒng)排出,用于去除膠層、清洗表面以及改善材料粘附性能。它具有可控性強(qiáng)的優(yōu)點,是一種重要的表面處理設(shè)備。等離子去膠機(jī)通常由以下幾個主要組件組成:1.真空室:用于...

  • 2023

    11-20

    隨著科技的不斷發(fā)展,等離子清洗機(jī)作為一種新型的表面處理技術(shù),正越來越受到各行各業(yè)的關(guān)注和青睞。特別是小型等離子清洗機(jī),由于其高效、綠色、便捷等特性,更是受到了廣大用戶的熱烈歡迎。本文將詳細(xì)介紹小型等離子清洗機(jī)的相關(guān)知識點,幫助大家更好地了解和運(yùn)用這種新型的表面處理工具。一、什么是小型等離子清洗機(jī)?它是一種利用等離子體對物體表面進(jìn)行清潔、處理和改性的設(shè)備。它通過產(chǎn)生的高溫、高壓和高能的等離子體,可以有效地去除物體表面的污漬、油脂、雜質(zhì)等,同時還能在物體表面形成一層致密的氧化膜,...

  • 2023

    11-14

    隨著科技的不斷發(fā)展,各行各業(yè)對材料性能的要求越來越高。在眾多材料加工方法中,表面處理技術(shù)因其能夠顯著提高材料的性能而備受關(guān)注。等離子表面處理技術(shù)作為一種新型的表面處理方法,以其優(yōu)勢逐漸取代了傳統(tǒng)的化學(xué)和物理處理方法,成為材料表面處理領(lǐng)域的研究熱點。一、等離子表面處理機(jī)的處理技術(shù)的基本原理等離子表面處理技術(shù)是利用高能量的等離子體對材料表面進(jìn)行改性的一種方法。等離子體是一種由正離子、負(fù)離子和自由電子組成的氣體,具有高溫、高能量的特點。在等離子表面處理過程中,將待處理材料置于等離子...

  • 2023

    11-8

    隨著科技的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為全球競爭的焦點。在這個領(lǐng)域,刻蝕技術(shù)作為半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵一環(huán),一直備受關(guān)注。近年來,我國在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展上取得了顯著的成果,但在刻蝕機(jī)這一關(guān)鍵設(shè)備上,卻長期依賴進(jìn)口。為了打破這一局面,國產(chǎn)等離子刻蝕機(jī)應(yīng)運(yùn)而生,憑借其性能和競爭力,逐漸贏得了市場的認(rèn)可。一、國產(chǎn)等離子刻蝕機(jī)的技術(shù)創(chuàng)新1.自主研發(fā),突破核心技術(shù)它的研發(fā)過程中,始終堅持自主創(chuàng)新,突破了多項核心技術(shù)。在等離子產(chǎn)生、氣體輸送、刻蝕反應(yīng)等方面,都取得了重要的技術(shù)突破。這些技術(shù)突破...

  • 2023

    10-27

    國產(chǎn)等離子清洗機(jī)是種新型清洗設(shè)備,采用了等離子技術(shù),可以清洗各種物品。它具有環(huán)保節(jié)能等特點,受到了廣大消費者的青睞。其核心技術(shù)是等離子技術(shù)。等離子是一種高能態(tài)的物質(zhì),可以在較低的溫度下產(chǎn)生強(qiáng)大的清潔效果。該技術(shù)利用氣體分子間的碰撞和電子的激發(fā)來釋放能量,并以此來清洗物品表面的污垢。與傳統(tǒng)的清洗方法相比,等離子清洗機(jī)可以更加去除各種難以清洗的污漬,大大提高了清洗效果。除了清洗外,還具有環(huán)保節(jié)能的優(yōu)點。傳統(tǒng)的清洗方法通常需要使用化學(xué)清洗劑,這些清洗劑往往會對環(huán)境產(chǎn)生一定的污染。而...

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