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在工業(yè)制造的微觀世界里,有這樣一種“隱形利器”——它不依賴蠻力打磨,不使用化學(xué)藥劑,僅憑一束無形的等離子體,就能讓普通材料的表面實現(xiàn)“質(zhì)的飛躍”。它就是等離子處理機,一種藏在眾多產(chǎn)品背后,默默優(yōu)化性能、解決生產(chǎn)痛點的特殊設(shè)備,從日常接觸的塑料件、電子元件,到制造中的精密組件,都有它的身影。很多人對“等離子”的認(rèn)知停留在科幻場景中,實則它是物質(zhì)除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種形態(tài),由高能電子、離子、自由基等活性粒子組成,兼具粒子性與波動性。而等離子處理機,就是通過特定技術(shù)將普通氣...
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國產(chǎn)等離子刻蝕機是一種用于微納加工的設(shè)備,它采用等離子體技術(shù)對微電子器件進行精確刻蝕,是半導(dǎo)體工業(yè)中*關(guān)鍵設(shè)備之一。它主要由核心部件、控制系統(tǒng)和輔助設(shè)備組成。核心部件包括真空室、等離子氣體供應(yīng)系統(tǒng)、射頻發(fā)生器、陰極材料等元件,這些元件協(xié)同工作可以產(chǎn)生高能量的等離子體束,實現(xiàn)對硅基材料的精確刻蝕??刂葡到y(tǒng)則包括程序控制器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、參數(shù)設(shè)置系統(tǒng)等,通過這些系統(tǒng)可以實現(xiàn)設(shè)備的自動化控制和運行優(yōu)化。輔助設(shè)備則包括真空泵、水冷裝置、氣體凈化裝置等,這些設(shè)備保證了設(shè)備穩(wěn)定運行所需的...
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多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的設(shè)計與應(yīng)用電子科技大學(xué)老師使用PLUTO-T型等離子清洗機,應(yīng)用于制備具有超柔性超疏水的等離激元TiN吸收器。通過將TiN納米顆粒和聚二甲基硅氧烷溶液進行耦合,構(gòu)建了具有優(yōu)異的光吸收、光熱效應(yīng)及超疏水性,強健的機械柔韌性、抗沖擊性、耐磨性及自修復(fù)能力的等離激元TiN吸收器。4.2.3.3自修復(fù)測試自修復(fù)測試是通過使用等離子體撞擊樣品表面及光照愈合的方法進行的。首先,將樣品放入氧等離子體儀中,功率設(shè)為150W。用氧等離子體轟擊樣品表面3分鐘,涂層變?yōu)槌?..
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等離子體處理對于聚丙烯微流控芯片粘接強度的影響聚丙烯(Polypropylene,PP)材料是一種熱塑性半結(jié)晶塑料,其具有價格低廉、易于加工成型以及生物兼容性良好等優(yōu)點,因此PP可以被用于微流控芯片的加工制作。微流控芯片是將通道、反應(yīng)池等功能模塊集成在微米尺度的一種微流體操作平臺。等離子體處理是利用等離子體中的高能態(tài)粒子打斷聚合物表面的共價鍵,等離子體中的自由基則與斷開的共價鍵結(jié)合形成極性基團,從而提高了聚合物表面活性。于此同時,等離子體對高分子聚合物表面存在物理刻蝕作用,導(dǎo)...
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單層MoS2光電探測器的制備和性能調(diào)控二維過渡金屬硫化物(2D-TMDS)材料(如M0S2、WS2、SnS2NbS2)具有優(yōu)異的光學(xué)、電學(xué)、光電學(xué)、力學(xué)等性能,材料厚度為0.1?Inm,具有理想的半導(dǎo)體帶隙(1.5-2.1eV),以及強烈的光-物質(zhì)相互作用,成為下一代微型、高靈敏度、高穩(wěn)定、透明性的光電探測器的理想材料。對單層MoS2光電探測器進行氧等離子處理,氧等離子處理工藝是:將制備出的單層MoS2光電探測器放置于低溫氧等離子環(huán)境中,氧等離子體機的放電功率均設(shè)置為10W,...
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TiO2/二維(ReS2,GeTe)薄膜異質(zhì)結(jié)光催化劑制備及光電催化性能研究PLUTO-T型等離子清洗機適合在大學(xué)實驗室和研究機構(gòu)使用的實驗室桌面型等離子清洗機。性能穩(wěn)定,操作方便,參數(shù)響應(yīng)反饋及時,深得科研人員的喜愛和贊同。浙江大學(xué)客戶使用PLUTO-T型等離子清洗機發(fā)表了論文。(1)采取球磨與超聲液相輔助剝離法制備二維層狀ReS2納米片,所制得的納米片尺寸約為200nm,厚度小于10nm。通過滴涂法工藝在一維TiO2垂直納米棒(NRs)陣列薄膜上涂覆ReS2納米片制備Ti...